HERCULES光刻機用于生物芯片
EVG620NT技術數(shù)據(jù):曝光源:汞光源/紫外線LED光源先進的對準功能:手動對準/原位對準驗證自動對準動態(tài)對準/自動邊緣對準對準偏移校正算法EVG620NT產量:全自動:弟一批生產量:每小時180片全自動:吞吐量對準:每小時140片晶圓晶圓直徑(基板尺寸):高達150毫米對準方式:上側對準:≤±0.5μm底側對準:≤±1,0μm紅外校準:≤±2,0μm/具體取決于基材鍵對準:≤±2,0μmNIL對準:≤±3.0μm曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式楔形補償:全自動軟件控制曝光選項:間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光系統(tǒng)控制:操作系統(tǒng):Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數(shù)多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR實時遠程訪問,診斷和故障排除工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理納米壓印光刻技術:SmartNIL®光刻機利用光學原理將光線聚焦在光刻膠上,通過光刻膠的曝光和顯影過程,將芯片設計圖案轉移到硅片上。HERCULES光刻機用于生物芯片
掩模對準系統(tǒng):EVG的發(fā)明,例如1985年世界上較早的擁有底面對準功能的系統(tǒng),開創(chuàng)了頂面和雙面光刻,對準晶圓鍵合和納米壓印光刻的先例,并設定了行業(yè)標準。EVG通過不斷開發(fā)掩模對準器產品來增強這些核欣光刻技術,從而在這些領域做出了貢獻。EVG的掩模對準系統(tǒng)可容納尺寸蕞大,尺寸和形狀以及厚度蕞大為300mm的晶片和基板,旨在為高級應用提供先進的自動化程度和研發(fā)靈活性的復雜解決方案。EVG的掩模對準器和工藝能力已經(jīng)過現(xiàn)場驗證,并已安裝在全球的生產設施中,以支持眾多應用,包括高級封裝,化合物半導體,功率器件,LED,傳感器和MEMS制造。江西光刻機HERCULES光刻機系統(tǒng):全自動光刻根蹤系統(tǒng),模塊化設計,用于掩模和曝光,集成了預處理和后處理能力。
EVG®150--光刻膠自動處理系統(tǒng)
EVG®150是全自動化光刻膠處理系統(tǒng)中提供高吞吐量的性能與在直徑承晶片高達300毫米。EVG150設計為完全模塊化的平臺,可實現(xiàn)自動噴涂/旋轉/顯影過程和高通量性能。EVG150可確保涂層高度均勻并提高重復性。具有高形貌的晶片可以通過EVG的OmniSpray技術進行均勻涂覆,而傳統(tǒng)的旋涂技術則受到限制。EVG®150特征:晶圓尺寸可達300毫米多達六個過程模塊可自定義的數(shù)量-多達二十個烘烤/冷卻/汽化堆多達四個FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載
我們可以根據(jù)您的需求提供進行優(yōu)化的多用途系統(tǒng)。我們的掩模對準系統(tǒng)設計用于從掩模對準到鍵合對準的快速簡便轉換。此外,可以使用用于壓印光刻的可選工具集,例如UV-納米壓印光刻,熱壓印或微接觸印刷。所有系統(tǒng)均支持原位對準驗證軟件,以提高手動操作系統(tǒng)的對準精度和可重復性。EVG620NT/EVG6200NT可從手動到自動基片處理,實現(xiàn)現(xiàn)場升級。此外,所有掩模對準器都支持EVG專有的NIL技術。如果您需要納米壓印設備,請訪問我們的官網(wǎng),或者直接聯(lián)系我們。岱美是EVG光刻機在中國的代理商,提供本地化的貼心服務。
EVG光刻機簡介:EVG在1985年發(fā)明了世界上弟一個底部對準系統(tǒng),可以在頂部和雙面光刻,對準晶圓鍵合和納米壓印光刻技術方面開創(chuàng)并建立了行業(yè)標準。EVG通過不斷開發(fā)掩模對準器來為這些領域做出貢獻,以增強蕞重要的光刻技術。EVG的掩模對準目標是容納高達300mm的不同的尺寸,形狀和厚度的晶圓和基片,同時為高級應用提供高科技含量的有效解決方案,并為研發(fā)提供充分的靈活可選性。EVG光刻機的掩模對準器和工藝能力經(jīng)過現(xiàn)場驗證,安裝并完美集成在全球各地的用戶系統(tǒng)中,可在眾多應用場景中找到,包括高級封裝,化合物半導體,功率器件,LED,傳感器和MEMS。IQ Aligner NT 光刻機系統(tǒng)使用零輔助橋接工具-雙基片,支持200mm和300mm尺寸的晶圓。安徽光刻機美元價
EVG同樣為客戶提供量產型掩模對準系統(tǒng)。HERCULES光刻機用于生物芯片
EVG120特征2:先進且經(jīng)過現(xiàn)場驗證的機器人具有雙末端執(zhí)行器功能,可確保連續(xù)的高產量;工藝技術桌越和開發(fā)服務:多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能[FrameworkSWPlatform]用于過程和機器控制的集成分析功能設備和過程性能根蹤功能;并行/排隊任務處理功能;智能處理功能;發(fā)生和警報分析;智能維護管理和根蹤;技術數(shù)據(jù):可用模塊;旋涂/OmniSpray®/開發(fā);烤/冷;晶圓處理選項:單/雙EE/邊緣處理/晶圓翻轉;彎曲/翹曲/薄晶圓處理。HERCULES光刻機用于生物芯片
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三高是、、的總稱。系指循環(huán)系統(tǒng)內血壓高于正常而言,通常指體循環(huán)動脈血壓增高,是一種常見的臨床綜合癥。通常是以低于140/90毫米汞柱為正常,而大于等于140/90毫米汞柱為。因它是在不知不覺中發(fā)生,故 。
方便冶具中的氣管、電線安裝。2、高重復定位精度中空旋轉平臺采用單級螺旋齒輪減速的方式來增大電機的輸出扭矩,中空旋轉平臺的齒輪精度等級達5級以下,加上其靈活的調隙機構,通過改變兩齒輪中心距的方式來控制側 。
中國綠色產品認證適用于各類不同產品,包括但不限于以下領域:1.電子電器產品:涵蓋了電視機、冰箱、洗衣機、空調等家用電器,以及計算機、手機、平板電腦等電子設備。2.建筑材料和裝飾產品:涉及綠色建筑材料、 。
合成孔徑聲吶技術作為全新的成像技術,是在海洋中進行水下地形地貌觀測、定位的重要工具,在民用領域具有應用,對于提高水下目標地形地貌的分辨能力具有明顯作用。海洋聲學儀器中涉及各種形式的聲納系統(tǒng),其作用距離 。
“軟考”是國家計算機技術與軟件專業(yè)技術資格考試的簡稱,是由國家人事部和信息產業(yè)部主辦、主辦的國家考試,旨在對全國計算機與軟件專業(yè)技術人員進行技術專業(yè)技術資格、職業(yè)資格認證和技術專業(yè)水平測試。軟考與職稱 。
料理包不是外賣平臺時代的產物。上世紀60年代,華裔日本人安藤百福把方便面專利轉讓給業(yè)界,目的是“給平民百姓提供價廉物美的拉面”。自然,還會有很多人聯(lián)想到飛機餐。而稍微了解連鎖餐飲店,也發(fā)現(xiàn)它們大都是統(tǒng) 。